業界別スペック
- 主要製品
- RF-SOI、FD-SOI、Power-SOI、POI (ピエゾ)、SmartSiC基板
日本装置・材料の主要顧客 (Tokyo Electron / SUMCO / Nikon / 信越化学 等から調達)
Smart Cut技術 (水素イオン注入で薄膜を剥離・転写) が全製品の核心。ドナー基板を再利用できるため希少材料 (SiC等) の使用量を大幅削減でき、均一な極薄単結晶膜を工業規模で実現する。
仏ベルナン本社工場とシンガポール工場が量産拠点で、POIは増産投資中。信越化学へのライセンス生産委託でRF-SOIの供給力を補完する。
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