芝浦メカトロニクス

技術・事業

技術概要

東芝系の製造装置メーカーで、前工程・後工程の双方を手掛ける。ウェーハを1枚ずつ処理する枚葉式洗浄装置で世界首位級、なかでも研磨後洗浄の工程でシェアトップとされる。窒化膜を除去する枚葉式の高温リン酸エッチング装置も首位とみられ、NANDの多層化で洗浄・エッチング工数が増えるほど装置需要が積み上がる位置にある。