📦 製品の詳細
製造装置
ラムリサーチ洗浄・レジスト剥離装置（DV-Prime・Da Vinci・EOS・SP・GAMMA） DV-Prime / Da Vinci / EOS / SP Series Wet Clean, GAMMA Dry Strip
ウエハーを1枚ずつ回転させて薬液で洗う装置。DV-Prime と Da Vinci は粒子・ポリマー・残さの除去、裏面・ベベル洗浄、レジスト除去、シリコンの薄化に使う。EOS は最新型で、最大16の処理チャンバーを載せ、3次元 NAND (NAND 型フラッシュメモリー) のウエハー裏面の膜を除いて反りを調整する用途にも使う。SP シリーズ (SP203L・SP223・SP323) は先端パッケージング向けの洗浄・ウエットエッチングで、直径150〜300ミリのウエハーに対応する。GAMMA はプラズマでレジストと残さを除くドライストリップ装置。価格は公表していない。
詳細解説
- 製品の区分
- ウエット洗浄 (枚葉スピン方式)。ラムリサーチは年次報告書で DV-Prime・Da Vinci・EOS・SP シリーズを洗浄の製品群とし、洗浄は各工程の合間に粒子・汚染・残さを除き、次の工程に備える作業と説明する sec.gov
- DV-Prime・Da Vinci
- 粒子・ポリマー・残さの除去、裏面・ベベル洗浄、レジスト除去、シリコン基板の薄化と応力除去、アンダーバンプメタルの除去。一部型式は Reliant (再生品) でも提供する lamresearch.com
- EOS
- ラムリサーチが年次報告書で最新のウエット洗浄装置と記す。粒子・ポリマー・残さの除去、裏面・ベベルの洗浄と膜除去。極低温エッチングの解説ページは、3次元 NAND のウエハー裏面の膜を高い生産性で除く装置として挙げる lamresearch.com
- GAMMA (ドライストリップ)
- 下流 (ダウンストリーム) のプラズマで、レジストと他の工程が残した残さを除き、表面を次の工程に合わせて整える装置。寸法 (CD) と材料の損失を抑えることを要件とし、同じプラットフォームで複数の工程を続けて行う (製品ページ) lamresearch.com
- SP シリーズ
- SP203L・SP223・SP323。先端パッケージングと IoT 向けの洗浄・ウエットエッチングで、シリコンの薄化、アンダーバンプメタルのエッチング、レジスト除去、フラックス除去後の洗浄に使う lamresearch.com
🏭 製造工場
この製品を作る工場と、それぞれの役割。会社の発表・有価証券報告書・官公庁の資料で確かめた拠点だけを載せた。
| 工場 | 所在地 | 役割 | 備考 | 出所 |
|---|---|---|---|---|
| 米国の製造拠点 (フリーモント・リバモア・トゥアラティン・シャーウッド) | 米カリフォルニア州フリーモント・リバモア、オレゴン州トゥアラティン・シャーウッド | ラムリサーチは年次報告書 (10-K・2026年6月期) で、製造・倉庫の施設をカリフォルニア、オハイオ、オレゴン、オーストリア、韓国、マレーシア、台湾に持つと説明する。フリーモント・リバモア・トゥアラティンの施設の大半とシャーウッドの製造施設は自社所有。製造の中身は部品・部分組立品・モジュールの組み立てと試験で、それを完成した装置に組み上げる | sec.gov | |
| オハイオ州の製造拠点 (イートン・スプリングフィールド) | 米オハイオ州イートン、スプリングフィールド | 会社の所在地一覧では米国の製造拠点。オハイオの製造施設は自社所有 (10-K)。何を製造するかは公表していない | lamresearch.com | |
| 韓国の製造拠点 (竜仁・華城・烏山) | 韓国京畿道竜仁市、華城市、烏山市 | 所在地一覧ではアジアの製造拠点。竜仁は年次報告書が主要な事業・研究開発拠点にも挙げる。子会社ラムリサーチ・マニュファクチャリング・コリア (Lam Research Manufacturing Korea LLC・10-K 別紙21) | lamresearch.com | |
| マレーシアの製造拠点 (バトゥカワン) | マレーシア・ペナン州バトゥカワン | アジアの製造拠点の1つで、製造施設は自社所有 (10-K)。2022年6月期から15年間の税制優遇を受け、2026年6月期の税負担を約9億6,800万ドル減らした (10-K) | sec.gov | |
| 台湾の製造拠点 (桃園・中壢) | 台湾・桃園市中壢区 | アジアの製造拠点の1つ (所在地一覧) | lamresearch.com | |
| オーストリアの製造拠点 (フィラッハ) | オーストリア・フィラッハ | 欧州の製造拠点 (所在地一覧)。フィラッハの施設は賃借で、更新または買い取りの選択権が付く (10-K)。ザルツブルクは主要な事業・研究開発拠点 (10-K) | sec.gov | |
| 製品ごとの製造地 | 公表されていない | 洗浄装置をどの工場で組み立てるかは公表していない。欧州の製造拠点フィラッハ は所在地一覧に載るが、製品との対応は記されていない | sec.gov |
⚙️ 技術・仕組み
どう動くか。方式・構造・制御・材料を、会社の技術資料と特許・論文で確かめた範囲で書いた。
- 枚葉スピン方式
- ラムリサーチは年次報告書で DV-Prime と Da Vinci を、自社が先駆けた枚葉スピン技術に基づく装置と記す。工程ごとに異なる選択比と欠陥の要件に、希釈した薬液と溶剤を使い分ける sec.gov
- 薬液の回収
- 薬液の回収 (リクレーム) 系で薬液コストを下げる。装置に組み込んだ薬液供給で、洗浄中に新たに付く欠陥 (アダー) と歩留まりの異常を減らす (DV-Prime・Da Vinci 製品ページ) lamresearch.com
- EOS の乾燥と裏面
- 高アスペクト比の構造を倒さずに乾かす独自技術と、裏面の膜除去の形状を調整できるチャック技術 (製品ページ) lamresearch.com
- SP シリーズの保持
- ベルヌーイチャックでデバイス面を保護し、薬液を複数回循環させて運転コストを下げる。極薄の基板を扱う (製品ページ) lamresearch.com
主要諸元
| 項目 | 値 | 出所 |
|---|---|---|
| 処理チャンバー数 (EOS) | 最大16 | lamresearch.com |
| 対応ウエハー (SP シリーズ) | 150mm から300mm。単一・2・多チャンバー構成 | lamresearch.com |
| デバイスの世代 | EOS の製品ページは10nm 未満の世代での洗浄工程の増加を課題に挙げる | lamresearch.com |
🔩 各部品と部品メーカー
部品は諸元表と発表で存在を確かめたものを並べ、メーカーは会社か部品メーカーの発表、有価証券報告書、分解調査の報道で供給元を確かめられたときだけ社名を書いた。確かめられない部品は「公表されていない」。載っていない会社は「関与していない」ではなく「公表資料で確かめられていない」。確度 A は会社の一次資料、B は報道。
| 部品 | 品名・型式 | メーカー | 銘柄 | 国・製造拠点 | 根拠 |
|---|---|---|---|---|---|
| 処理チャンバー | 枚葉スピン式の処理チャンバー (EOS は最大16) | ラムリサーチ | — | 公表されていない |
製品ページが数を記す A |
| ウエハーチャック | 裏面の膜除去の形状を調整できるチャック (EOS)。ベルヌーイチャック (SP) | ラムリサーチ | — | 公表されていない |
製品ページが記す A |
| 薬液供給・回収系 | 装置内蔵の薬液供給と回収 (リクレーム) 系 | 公表されていない | — | 製品ページが記す。構成部品の供給元は公表されていない A | |
| 薬液 | 希釈薬液・溶剤 | 公表されていない | — | 製品ページが種類に触れる。供給元は公表されていない A |
🔗 部品製造サプライチェーン
材料から部品・組み立て・販売までを、上流から下流の順に並べた。
- 1部品・薬液供給元は公表していない (10-K)企業: 公表されていない
- 2顧客10-K の主要顧客はマイクロン、サムスン電子、SK ハイニックス、TSMC。製品ごとの納入先は公表されていない企業: 公表されていない
- 3競合 (10-K)ウエット洗浄の主な競合は SCREEN ホールディングス (日本)、セメス (韓国)、東京エレクトロン (日本)企業: SCREEN・セメス・東京エレクトロン
🏗️ 製造ライン
工場の中でこの製品がどう作られるか。工程の順に、ラインの構成・設備・自動化・検査・生産能力を、会社の発表と工場見学の記録で確かめた範囲で書いた。
- 1組み立てと試験部品・部分組立品・モジュールを組み立てて試験し、出荷前または顧客の工場で完成した装置に組み上げる。組み立てと試験は主にクリーンルームで行う (10-K)設備・企業: ラムリサーチ
- 2外部委託製造の一部、生産用の倉庫、物流を第三者に委託する契約がある (10-K)。委託先の社名は公表していない設備・企業: 公表されていない
- 3調達先が1社の部品一部の部品・部分組立品は1社からしか調達できず、代替の供給元の認定や在庫の積み増しで備える (10-K)。部品名は公表していない設備・企業: 公表されていない
💴 販売価格
| 型番・グレード | 税込価格 (円) | 時点 | 出所 |
|---|---|---|---|
| 装置本体 | 公表していない。見積もり (顧客ごとの相対取引) | 2026年11月1日に製品ページと問い合わせページで確認 | lamresearch.com |
| 参考: 前受け収益 | 顧客の前払い金などからなる前受け収益の残高は2026年6月28日時点で24億3,000万ドル (10-K)。装置の価格そのものは開示していない | 2026年6月28日 | sec.gov |
🛒 購入方法
| 経路 | 内容 | 出所 |
|---|---|---|
| 直販 (製品営業と現場の技術者) | ラムリサーチは年次報告書で、製品マーケティングと営業の担当者に加え、装置・プロセスの技術者が顧客ごとに対応すると説明する。販売代理店の制度は開示していない | sec.gov |
| 注文と検収 | 承認済みの注文書を契約とみなす (10-K)。日本の顧客への出荷は検収まで売上に計上せず、2026年9月27日時点で検収待ちの出荷は4億6,830万ドル (8-K) | sec.gov |
| 顧客向けポータル MyLam | 技術資料・部品の注文・保守の情報は、パスワードで保護した顧客向けサイト MyLam で提供する | lamresearch.com |
🛠️ アフターサービス・保守サービス
| 項目 | 内容 | 出所 |
|---|---|---|
| 保証 | 標準保証は、材料・製造上の欠陥が無く合意した仕様に適合することを対象とする。修理か新品同等品への交換に限られ、保証期間内の通知が条件 (10-K)。年限は公表していない | sec.gov |
| 保守拠点 | 米国、中国、欧州、インド、日本、韓国、東南アジア、台湾にサービス技術者の網を置く (10-K)。日本は新横浜本社のほか、四日市・北上・大津 (熊本)・大分・諫早・高岡のサービスセンター、鶴岡・東広島・千歳のオフィス、四日市の中部パーツセンター | lamresearch.com |
| 部品 (スペア) | 純正部品のほか、修理・再生部品、長寿命の高性能部品、公差を緩めた低価格部品を扱う。生産を終える部品は最終受注 (ラストバイ) を案内し、代替部品を設計する | lamresearch.com |
| 改造 (アップグレード) | 次の微細化世代への対応、稼働率・処理能力・歩留まりの改善、省エネ・ガス削減の改造を、設置済みの装置に施す | lamresearch.com |
| 遠隔監視と保守の自動化 | Equipment Intelligence (装置の稼働データを使う保守・制御) で、稼働率を高め、処理能力を上げ、欠陥を減らす (10-K)。2024年12月発表の協働ロボット Dextro は、期間を定めた保守契約の一部として提供する | lamresearch.com |
🌏 海外輸出
| 仕向け地 | 内容 | 出所 |
|---|---|---|
| ラムリサーチ全体の地域別売上高 (2026年6月期) | 中国34%、台湾22%、韓国19%、日本9%、米国7%、東南アジア6%、欧州3%。売上高は顧客の工場の所在地で分ける (10-K)。製品群ごとの内訳は公表していない | sec.gov |
| 2026年7〜9月期 | 中国35%、韓国20%、台湾18%、日本9%、米国8%、東南アジア6%、欧州4% (8-K 2026年10月21日) | sec.gov |
| 米国の輸出管理 | ラムリサーチは年次報告書で、米国の輸出管理により中国の一部の顧客・用途向けに輸出許可が要り、許可が下りる保証は無いと説明する。2024年12月2日の追加規制についてラムリサーチは、影響は従来の想定と大筋で一致すると説明した | newsroom.lamresearch.com |
📈 販売の実績
💰 金額
| 項目 | 値 | 備考 | 出所 |
|---|---|---|---|
| 洗浄装置の売上高 | 公表されていない | sec.gov |
解析 — 部品・製造・販売の特徴
枚葉洗浄は、ラムリサーチが年次報告書でエッチング・成膜と並べて挙げる3つ目の主力分野だ。ただし競合の顔ぶれが違う。ラムリサーチが年次報告書で挙げる洗浄の競合は SCREEN ホールディングス (7735)、セメス、東京エレクトロン (8035) だ。日本の2社が入る。
EOS は3次元 NAND でウエハー裏面の膜を除いて反りを調整する用途を持つ。積層数が増えるほど反りの管理が難しくなる。ラムリサーチはエッチング (Flex・Vantex)、成膜 (VECTOR DT)、ベベル処理 (Coronus DX) と組み合わせて提案する。
SP シリーズは先端パッケージング向けで150mm にも対応し、Reliant (再生・成熟世代向け) の洗浄製品もある。洗浄装置の売上高は公表されていない。
公表されていないこと
- 洗浄装置を組み立てる工場 (フィラッハとの対応は未確認)
- 洗浄装置の売上高とシェア
- 薬液と薬液供給系の供給元
出所
- ラムリサーチ 年次報告書 10-K (2026年6月期・2026年8月7日提出) (2026-08-07)
- ラムリサーチ 8-K 2026年7〜9月期 決算発表 (2026-10-21)
- ラムリサーチ 所在地一覧 (2026-11-01)
- ラムリサーチ 製品一覧 (2026-11-01)
- ラムリサーチ カスタマーサポート概要 (2026-11-01)
- DV-Prime・Da Vinci 製品ページ (2026-11-01)
- EOS 製品ページ (2026-11-01)
- SP シリーズ製品ページ (2026-11-01)
- Reliant 洗浄製品ページ (2026-11-01)
- GAMMA 製品ページ (2026-11-01)
- 極低温エッチング解説ページ (EOS の記述) (2026-11-01)
出所との照合日: 2026年11月1日。数字は出所の書類のまま。株価・時価総額は扱わない。
ラムリサーチ のほかの製品
ラムリサーチAether（EUV露光用ドライレジスト装置）
ラムリサーチALTUS金属成膜装置（タングステン・モリブデンALD/CVD）
ラムリサーチCoronusベベル処理装置（プラズマによる外周の洗浄・成膜）
ラムリサーチSABRE電気めっき装置（銅配線・SABRE 3D先端パッケージング）
ラムリサーチSemiverse Solutions（SEMulator3D・OverViz・Fabtex）
ラムリサーチパネル・基板処理装置と質量計測装置（Phoenix・Kallisto・Triton・Metior）
ラムリサーチ導体エッチング装置（Kiyo・Akara・Versys Metal）
ラムリサーチ誘電体エッチング装置（Flex・Vantex・Lam Cryo 3.0）
ラムリサーチ誘電体成膜装置（Striker ALD・VECTOR PECVD・SPEED・SOLA・Prestis）
ラムリサーチ選択・シリコン深掘りエッチング装置（Argos・Prevos・Selis・Syndion・DSiE）
ラムリサーチ顧客サポート事業（保守・部品・改造・Reliant再生装置）
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