📦 製品の詳細
製造装置
ディスコ サーフェースプレーナ DFS8960・検査装置 DIS100・周辺装置 DISCO Surface Planer DFS8960 / Inspection System DIS100 / WaterJet Saw DAW4110 / MUSUBI / DWR
ダイシングソー・レーザーソー・グラインダ以外の加工・検査・周辺装置。サーフェースプレーナ DFS8960 (直径300ミリ、2011年) はダイヤモンドバイトで金属バンプや樹脂を削って平らにする。検査装置 DIS100 (2020年) はダイシング後のチップを取り出し、厚さ・欠け (チッピング)・裏面粗さ・抗折強度を全自動で測る。ウォータージェットソー DAW4110 は水と研磨材で、金属や樹脂に熱を加えずに曲線に切る。ほかに複数の装置をロボット搬送でつなぐクラスターシステム MUSUBI (2019年) と、切削水を再利用する純水リサイクル装置 DWR がある。周辺装置の出荷額は2026年7〜9月に全体の4%で、前年同期比149%増。価格は公表していない。
詳細解説
- 製品の区分
- 決算説明資料の製品群「周辺装置」は精密加工装置の一部で、2026年7〜9月の出荷額構成比4% (前四半期比+4%、前年同期比+149%)。用途で分けにくいため、用途別の集計から除く disco.co.jp
- DFS8960
- 直径300ミリ対応の全自動切削平坦化装置。ダイヤモンドバイトで金属などの延性材料や樹脂、その複合材料を高精度に平坦化し、バンプの高さばらつきや表面粗さの問題を解決する (会社説明)。2011年発表 disco.co.jp
- DIS100
- ダイシング後のウエハーからチップをピックアップし、側面の厚さ・チッピング測定、裏面の面粗さ測定、3点曲げ試験による抗折強度測定 (破壊検査) を全自動で行う。手作業によるばらつきを抑える。指定チップをディスコ独自のチップトレイ UNITRAY に移してバーコード管理する仕様はオプション。2020年開発 disco.co.jp
- DAW4110
- 昇圧した水と研磨材をあらかじめ混ぜて吐出し、ダイシングソーで培った位置合わせ技術で非熱の曲線切断を行う。切り幅 (カーフ)幅0.3mm、内側コーナーR0.3mm。研磨材を回収して乾燥させずに再利用。クリーンルームに対応したウォータージェットソーとして世界初 (会社の主張)。樹脂・金属・その積層材に向き、アルミナより硬い材料とシリコンなどの硬脆材料は不向き disco.co.jp
- MUSUBI
- 共通の搬送部に複数装置を接続するクラスターシステム (2019年製品化)。対応機は DGP8762 (グラインダポリッシャ)・DFL7362 (レーザーソー)・DMM9200 (ウエハーマウンタ)・DME8061 (ドライエッチャ)。MUSUBI対応であれば他社の装置も接続できる。組み込み型の測定ユニット GI@dMETRO でプロセス中に厚み・うねり・画像を測る disco.co.jp
- 純水リサイクル装置 DWR
- ダイシングソー用純水リサイクル装置 DWR1720 (2008年、廃水ゼロ化)、ドレイン水の圧送と装置との通信機能を持つ DWR1721 (2010年)、仕様を選べる DWR1722 (2014年)、グラインダなどの大流量に対応する DWR1730 (2024年) disco.co.jp
- その他の周辺装置・関連製品
- 製品サイトの周辺装置に DCS1440/1441/1460/1461、DTU1550、超音波ユニットなど。関連製品に水溶性保護膜 HogoMax、StayClean、テープフレーム、ダイシングカセット、プリカットボード disco.co.jp
- 系列
- サーフェースプレーナ DFS8910・DFS8960・DAS8920・DAS8930、検査装置 DIS100・DIS200、ウォータージェットソー DAW4110 disco.co.jp
🏭 製造工場
この製品を作る工場と、それぞれの役割。会社の発表・有価証券報告書・官公庁の資料で確かめた拠点だけを載せた。
| 工場 | 所在地 | 役割 | 備考 | 出所 |
|---|---|---|---|---|
| 桑畑工場 | 広島県呉市 | 精密加工装置と精密加工ツールの生産設備。従業員894人 (2026年3月末) | 周辺装置の生産工場の内訳は公表されていない | disco.co.jp |
| 茅野工場 (長野事業所) | 長野県茅野市 | 精密加工装置と電動機などの生産設備。従業員360人 (2026年3月末) | disco.co.jp | |
| 桑畑試験所 | 広島県呉市 (桑畑工場内) | 校正機関としてISO/IEC 17025:2017の認定を取得 (2025年6月発表)。MUSUBIの測定ユニットの校正に関わる認定として会社サイトに掲載 | disco.co.jp |
⚙️ 技術・仕組み
どう動くか。方式・構造・制御・材料を、会社の技術資料と特許・論文で確かめた範囲で書いた。
- 切削平坦化
- ダイヤモンドバイト (刃物) で加工対象物 (ワーク)表面を削って平らにする。研削 (砥石) ではなく切削のため、金属などの延性材料と樹脂の複合材に向く。加工精度は厚さのばらつき (TTV) 3.0μm以下、5mm角チップ内のバンプ高さばらつき1.0μm以下、切削面粗さRa 0.02μm以下 disco.co.jp
- チップ強度の測定
- DIS100は3点曲げ試験でチップを曲げて破壊したときの最大応力 (抗折強度) を測る。側面測定で厚さと表裏のチッピング、裏面測定で研削面の面粗さを見る。薄化・研削で生じたひずみ層を除くストレスリリーフの効果を数値で管理する disco.co.jp
- ウォータージェット
- 水と研磨材をプリミックスして吐出する独自技術。積層材の切りくずの付着 (スミアリング)や層間剥離 (デラミネーション)を抑え、チタン・ステンレスのように加工熱で不具合が出る材料も焼けを出さずに切る。自動工具補正でカーフ幅の測定値に従って入力データを補正 disco.co.jp
- クラスター化
- MUSUBIはロボット搬送で工程間の滞留を防ぎ、オペレータの装置投入や加工条件の設定 (レシピ)選択の頻度を減らしてウエハー破損リスクを抑える。プロセス中の任意のタイミングでウエハー状態を測定し、異常を早く見つける disco.co.jp
- 水の再利用
- 純水リサイクル装置はダイシング・研削の切削水を回収して再利用し、廃水をゼロにする (DWR1720、会社説明) disco.co.jp
主要諸元
| 項目 | 値 | 出所 |
|---|---|---|
| DFS8960 | 直径300ミリ、搬送・洗浄機構あり、TTV 3.0μm以下、バンプ高さばらつき1.0μm以下 (5mm角)、Ra 0.02μm以下、1,400×3,356×1,870mm、約5,000kg | disco.co.jp |
| DIS100 | 対応ウエハー径直径200・300ミリ、対応チップサイズ2mm角以上、1,300×1,300×1,800mm、約800kg | disco.co.jp |
| DAW4110 | X軸位置決め精度0.005mm以内/425mm、Y軸0.005mm以内/190mm、送り速度0.1〜30mm/s、Z軸最大ストローク103.5mm、カーフ幅0.3mm | disco.co.jp |
| MUSUBI 対応機 | DGP8762・DFL7362・DMM9200・DME8061 | disco.co.jp |
🔩 各部品と部品メーカー
部品は諸元表と発表で存在を確かめたものを並べ、メーカーは会社か部品メーカーの発表、有価証券報告書、分解調査の報道で供給元を確かめられたときだけ社名を書いた。確かめられない部品は「公表されていない」。載っていない会社は「関与していない」ではなく「公表資料で確かめられていない」。確度 A は会社の一次資料、B は報道。
| 部品 | 品名・型式 | メーカー | 銘柄 | 国・製造拠点 | 根拠 |
|---|---|---|---|---|---|
| ダイヤモンドバイト (DFS8960、消耗品) | 公表されていない | 公表されていない | — | 製品ページに「ダイヤモンドバイトによる超精密平坦化技術」。供給元の開示なし A | |
| 研磨材 (DAW4110、消耗品) | 公表されていない (回収して再利用) | 公表されていない | — | 製品ページに研磨材の再利用とコスト低減の記載。品種と供給元は非開示 A | |
| チップトレイ UNITRAY (DIS100) | UNITRAY (ディスコ独自のICチップトレイ) オプション |
ディスコ | 6146 | 日本 公表されていない |
製品ページに「ディスコ独自のICチップトレイ」と明記 A |
| 搬送ロボット (MUSUBI) | 公表されていない | 公表されていない | — | MUSUBIページに「ロボットを用いたウエハー自動搬送」。供給元の開示なし A | |
| 測定ユニット GI@dMETRO (MUSUBI) | GI@dMETRO | ディスコ | 6146 | 日本 公表されていない |
MUSUBIページに「MUSUBI組込型メトロロジユニットGI@dMETRO」。校正に関わるISO/IEC 17025認定のリンク A |
| スピンドル・チャックテーブル用モーター | 公表されていない 加工品質に影響しない部分には購入品も使うと会社サイトは記す |
ディスコ スピンドル・チャックテーブルには自社開発・製造のモーターを使うと会社サイトが記す |
6146 | 日本 公表されていない (茅野工場に電動機の生産設備) |
会社サイト「内製モータのご紹介」が、スピンドルやチャックテーブルなど加工品質に直結する部品に自社開発・製造のモーターを使うと記す。有価証券報告書は「主要部品を内製化」と茅野工場の電動機生産設備を記す A |
🔗 部品製造サプライチェーン
材料から部品・組み立て・販売までを、上流から下流の順に並べた。
- 1主力装置との関係周辺装置は主力のダイサ・グラインダと一緒に導入される。純水リサイクル装置はダイシングソー・グラインダの切削水、MUSUBIはグラインダポリッシャ・レーザーソー・マウンタ・ドライエッチャをつなぐ企業: ディスコ
- 2他社装置の接続MUSUBI対応であれば他社製の装置も接続できる (会社説明)。接続実績の社名は非開示企業: 公表されていない
- 3主要部品主要部品を内製する方針。子会社ダイイチコンポーネンツが電動機・制御機器を造る企業: ディスコ・ダイイチコンポーネンツ
- 4販売国内は直販、海外は6か国の子会社と代理店企業: DISCO HI-TEC 各社
🏗️ 製造ライン
工場の中でこの製品がどう作られるか。工程の順に、ラインの構成・設備・自動化・検査・生産能力を、会社の発表と工場見学の記録で確かめた範囲で書いた。
- 1装置の組立精密加工装置の生産設備は桑畑工場と茅野工場。全装置を免震構造の棟で造る設備・企業: ディスコ 桑畑工場・茅野工場
- 2有償加工・テストカットでの使用本社に DFS8910・DAS8930・CO2バブラー・StayClean、中工程リサーチセンター (熊本) に DIS100・DIS200・DDS2300・DWR1720、欧州に DIS100・KABRA!zen を置く設備・企業: ディスコ
- 3校正桑畑試験所が校正機関の国際規格ISO/IEC 17025:2017の認定を取得 (2025年5月15日認定、6月2日発表)設備・企業: ディスコ 桑畑試験所
💴 販売価格
| 型番・グレード | 税込価格 (円) | 時点 | 出所 |
|---|---|---|---|
| DFS8960・DIS100・DAW4110・MUSUBI・DWR | 公表されていない。見積もり (製品ページに価格の記載なし) | 2026-11-01 | disco.co.jp |
🛒 購入方法
| 経路 | 内容 | 出所 |
|---|---|---|
| 国内の直販 | 営業本部 国内営業部が窓口。問い合わせフォームと近くの営業拠点から | disco.co.jp |
| 海外の子会社・代理店 | 米国・中国・韓国・東南アジア・台湾・インド・欧州の拠点と代理店 | disco.co.jp |
| 購入前の加工検証 | DAW4110は製品ページが「詳しくは営業担当者に」と案内。DIS100は熊本・シンガポール・米国・欧州の拠点で使える | disco.co.jp |
🛠️ アフターサービス・保守サービス
| 項目 | 内容 | 出所 |
|---|---|---|
| メンテナンス・部品 | メンテナンスサービス、部品供給・部品の修理。保証の年限は公表されていない | disco.co.jp |
| 法令対応情報 | フロン排出抑制法の対象製品の情報を製品サイトで提供 | disco.co.jp |
| 研修 | 購入顧客向けの研修。海外5か所に研修センター | disco.co.jp |
| リサイクル | 使用済み装置の解体・リサイクルサービス | disco.co.jp |
🌏 海外輸出
| 仕向け地 | 内容 | 出所 |
|---|---|---|
| 全体 | 国内製造・輸出型で海外売上高比率89.7% (2026年7〜9月、全製品)。周辺装置の仕向け地別は公表されていない | disco.co.jp |
| 輸出管理 | 2026年8月にディスコは新たな輸出規制の対象になったとの情報を否定。機種ごとの該非は公表されていない | disco.co.jp |
📈 販売の実績
| 期間 | 指標 | 値 | 単位 | 備考 | 出所 |
|---|---|---|---|---|---|
| 2026年7〜9月 | 周辺装置の出荷額構成比 | 4 | % | 前四半期比+4%、前年同期比+149% | disco.co.jp |
| 2026年1〜3月 | 周辺装置の出荷額構成比 | 4 | % | 前四半期比+69%、前年同期比+44% | disco.co.jp |
| 2026年3月期 | 周辺装置の出荷額構成比 (通期) | 3 | % | 前期比-2% | disco.co.jp |
| 2026年10〜12月 (予想) | 周辺装置出荷額の前四半期比 | +10 | % | 会社の概算見通し | disco.co.jp |
💰 金額
| 項目 | 値 | 備考 | 出所 |
|---|---|---|---|
| 精密加工装置の売上高 (全装置) | 2,739億5,700万円 (2026年3月期) | disco.co.jp |
解析 — 部品・製造・販売の特徴
周辺装置は出荷額の4%と小さいが、2026年7〜9月は前年同期比149%増で装置群の中で伸びが最も大きい。主力装置が増えれば純水リサイクルやクラスター搬送も一緒に導入されるためだ。DFS8960 の切削平坦化は銅バンプや樹脂の高さをそろえる工程で、チップを積み重ねるパッケージが増えるほど出番が増える。DIS100 はチップの抗折強度を自動で測り、ディスコが売る薄化・ストレスリリーフの効果を顧客が数値で確かめる手段になる。MUSUBI は他社装置も接続できるとし、ディスコの装置を工程の中心に置く狙いがある。ディスコは2026年10〜12月の周辺装置出荷を前四半期比10%増と見ている。周辺装置の売上は単独で開示されないが、出荷額の構成比の推移が主力装置の導入の広がりを映す。
公表されていないこと
- DFS8960・DIS100・DAW4110・DWR の販売価格と出荷台数
- ダイヤモンドバイト・研磨材・搬送ロボットの供給元
- MUSUBIに接続した他社装置の実績
- 周辺装置の生産工場の内訳
- DIS200・DFS8910・DAS8930 の詳細仕様
出所
- DFS8960 製品ページ (2026-11-01)
- DIS100 製品ページ (2026-11-01)
- DAW4110 製品ページ (2026-11-01)
- MUSUBI (ディスコ) (2026-11-01)
- HogoMax (関連製品) (2026-11-01)
- 社史 (ディスコ) (2026-11-01)
- 有価証券報告書 第87期 (2026-06-16)
- 2026年度 第2四半期 決算説明資料 (2026-10-22)
- 2026年度 第2四半期 決算説明資料 (ノート付き) (2026-10-22)
- 2025年度 第4四半期 決算説明資料 (2026-04-22)
- ISO/IEC17025:2017 認定取得 (2025-06-02)
- 有償加工サービス (ディスコ) (2026-11-01)
- 内製モータのご紹介 (ディスコ) (2026-11-01)
出所との照合日: 2026年11月1日。数字は出所の書類のまま。株価・時価総額は扱わない。
ディスコ のほかの製品
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ディスコ アフターサービス・部品供給・研修サービス
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ディスコ ダイシングソー DFD6361・DFD6362（ブレードダイシング）
ディスコ ダイセパレータ DDS2320・ウエハーマウンタ DFM2800
ディスコ テストカット・有償加工サービス（アプリケーションラボ）
ディスコ ポリッシャ DFP8160・グラインダポリッシャ DGP8761（ストレスリリーフ）
ディスコ レーザーソー DFL7161・DFL7362（アブレーション・ステルスダイシング）
ディスコ 精密加工ツール（ダイシングブレード・グラインディングホイール）
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