東京エレクトロンBetelex・Impressio（フラットパネルディスプレイ (FPD)製造装置） Betelex / Impressio (FPD Etch/Ash Systems)
フラットパネルディスプレイ (FPD) 用ガラス基板のプラズマエッチング・アッシング装置。Betelex は第6〜8世代基板に対応し、プラズマ源を最大5基載せる。Impressio は第8〜10.5世代基板に対応するマルチチャンバー装置で、プラズマ源は最大3基。中国の製造子会社 (江蘇省昆山市) がディスプレイ製造装置の製造と部品の補修を受け持つ。売上は半導体製造装置と合算され、東京エレクトロンは単独の数字を公表していない。価格は公表していない。
詳細解説
- 製品の区分
- ディスプレイ製造装置 (FPD)。プラズマエッチング・アッシング装置のBetelex とImpressio の2機種が製品一覧に載る tel.co.jp
- Betelex
- 第6世代〜第8世代基板対応。最適なプラズマ源を最大5基搭載して生産性を上げ、設置面積を最適化 tel.co.jp
- Impressio
- 第8世代〜第10.5世代基板対応。マルチチャンバー方式で最適なプラズマ源を最大3基搭載 tel.co.jp
- 事業上の位置
- 報告セグメントは半導体製造装置の1つだけで、フラットパネルディスプレイ (FPD)装置の売上は製品別構成比に区分がなく、東京エレクトロンは内訳を開示していない。東京エレクトロンがMAGICと呼ぶ対象市場の区分にディスプレイがある tel.co.jp
- 保守の体制
- 欧州ではスイスの保守子会社がディスプレイ製造装置 (FPD) の部品供給と保守を行う tel.co.jp
🏭 製造工場
この製品を作る工場と、それぞれの役割。会社の発表・有価証券報告書・官公庁の資料で確かめた拠点だけを載せた。
| 工場 | 所在地 | 役割 | 備考 | 出所 |
|---|---|---|---|---|
| 中国の製造子会社 | 中国江蘇省昆山市 | ディスプレイ製造装置の製造および部品の補修 (グループ会社一覧)。東京エレクトロンは有価証券報告書で工場と記載、従業員52人・帳簿価額25億円 (2026年3月末) | tel.co.jp |
⚙️ 技術・仕組み
どう動くか。方式・構造・制御・材料を、会社の技術資料と特許・論文で確かめた範囲で書いた。
主要諸元
🔩 各部品と部品メーカー
部品は諸元表と発表で存在を確かめたものを並べ、メーカーは会社か部品メーカーの発表、有価証券報告書、分解調査の報道で供給元を確かめられたときだけ社名を書いた。確かめられない部品は「公表されていない」。載っていない会社は「関与していない」ではなく「公表資料で確かめられていない」。確度 A は会社の一次資料、B は報道。
| 部品 | 品名・型式 | メーカー | 銘柄 | 国・製造拠点 | 根拠 |
|---|---|---|---|---|---|
| プラズマ源・高周波電源・真空チャンバー・基板搬送系 | 公表されていない | 公表されていない | — | 製品一覧・有報に供給元の記載はない。中国の製造子会社 (江蘇省昆山市) が部品の補修を受け持つ A |
🔗 部品製造サプライチェーン
材料から部品・組み立て・販売までを、上流から下流の順に並べた。
- 1部品調達中国の部品調達子会社 (上海市) がグループの中国での部品調達・供給を受け持つ。FPD装置の部品を扱うかは公表されていない企業: 中国の部品調達子会社 (上海市)
- 2製造中国の製造子会社 (江蘇省昆山市) がディスプレイ製造装置を製造する企業: 中国の製造子会社 (江蘇省昆山市)
- 3販売・保守中国は中国の販売・保守子会社 (上海市)、欧州の既存装置はスイスの保守子会社が部品と保守を受け持つ企業: 中国の販売・保守子会社・スイスの保守子会社
🏗️ 製造ライン
工場の中でこの製品がどう作られるか。工程の順に、ラインの構成・設備・自動化・検査・生産能力を、会社の発表と工場見学の記録で確かめた範囲で書いた。
- 1製造ライン昆山市の工場で製造する。工程と台数は公表されていない設備・企業: 中国の製造子会社 (江蘇省昆山市)
💴 販売価格
| 型番・グレード | 税込価格 (円) | 時点 | 出所 |
|---|---|---|---|
| Betelex・Impressio | 公表していない。見積もり | 2026-11-01 | tel.co.jp |
🛒 購入方法
| 経路 | 内容 | 出所 |
|---|---|---|
| 直販 | 製品一覧の「お問い合わせ」から見積もり。中国は中国の販売・保守子会社 (上海市) が販売・保守 | tel.co.jp |
🛠️ アフターサービス・保守サービス
🌏 海外輸出
📈 販売の実績
| 期間 | 指標 | 値 | 単位 | 備考 | 出所 |
|---|---|---|---|---|---|
| 2026年3月期 | フラットパネルディスプレイ (FPD)製造装置の売上 | 公表されていない | 東京エレクトロンは製品別の内訳を開示していない | tel.com |
💰 金額
| 項目 | 値 | 備考 | 出所 |
|---|---|---|---|
| 中国の製造子会社 (江蘇省昆山市) の帳簿価額 | 25億円、従業員52人 (2026年3月末) | tel.co.jp |
解析 — 部品・製造・販売の特徴
FPD製造装置は会社の中で最も小さい製品群で、製造を中国の昆山に置く点が半導体装置と異なる。昆山の工場は従業員52人・帳簿価額25億円 (2026年3月末) である。東京エレクトロンは売上の内訳を開示しておらず、製品別構成比のどこに入るかも分からない。東京エレクトロンは有価証券報告書の「事業の内容」で半導体製造装置の開発・製造・販売・保守を主な事業とし、FPDには触れない。それでも製品一覧に2機種を残し、欧州でも既存装置の保守を続けている。東京エレクトロンがMAGICと呼ぶ対象市場の区分にディスプレイがあるが、数値目標は示していない。東京エレクトロンは2機種の採用顧客と販売台数を公表していない。昆山の工場はディスプレイ装置の製造と部品の補修を受け持つ。
公表されていないこと
- フラットパネルディスプレイ (FPD)装置の売上・販売台数・価格
- 採用顧客
- 主要部品の供給元
- Betelex・Impressio の詳しい仕様 (東京エレクトロンは製品一覧の短い説明しか公表していない)
出所
- 製品一覧 (ディスプレイ製造装置) (2026-11-01)
- グループ会社 (2026-11-01)
- 第63期 有価証券報告書 (2026-06-22)
- MAGIC (2026-11-01)
- Integrated Report 2026 Data Section (2026-09-15)
- エンジニアリングサービス (2026-11-01)
出所との照合日: 2026年11月1日。数字は出所の書類のまま。株価・時価総額は扱わない。
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