東京エレクトロンCertas LEAGA（ガスケミカルエッチング装置） Certas LEAGA (Gas Chemical Etch System)
プラズマも洗浄液も使わず、ガスの化学反応で酸化膜や窒化膜を選択的に除く300mm対応の等方性エッチング装置。ウエハー2枚を同時に処理し、プロセスチャンバーを最大6基まで載せる。シリコンのコンタクト前の表面洗浄、酸化膜の除去と削り戻し (エッチバック)、深い穴 (高アスペクト比) の3次元構造の選択エッチングに使う。東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ (山梨・岩手) が開発・製造する。価格は公表していない。
詳細解説
- 製品の区分
- 300mmウエハー対応ガスケミカルエッチング装置。環境負荷が小さく処理能力の高い装置 (製品ページ)。水を使わないため乾燥むら (ウォーターマーク) が出ない tel.co.jp
- 用途
- シリコンコンタクト前の表面クリーニング、シリコン酸化膜の除去・削り戻し (エッチバック)、高アスペクト3次元構造の選択エッチング、高精細なくぼみ加工 (リセス)。量産から次世代開発まで tel.co.jp
- 位置づけ
- 統合報告書2026は先端ロジック向けに「高選択比のガスケミカルエッチング」とエアギャップなど新構造への対応を事業戦略に挙げ、ロジック2nmのゲート全周 (GAA)構造では等方性エッチングの機会が広がると説明 (2026年4月30日) tel.com
- 洗浄装置との併用
- 水を使わないドライ処理のユニットで、東京エレクトロンは洗浄装置と組み合わせて使うことを勧めている tel.co.jp
🏭 製造工場
この製品を作る工場と、それぞれの役割。会社の発表・有価証券報告書・官公庁の資料で確かめた拠点だけを載せた。
| 工場 | 所在地 | 役割 | 備考 | 出所 |
|---|---|---|---|---|
| 東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ | 山梨県韮崎市 (本社・穂坂事業所)、岩手県奥州市 (東北事業所) | グループ会社一覧は「ガスケミカルエッチング装置の開発・製造」を受け持つとする。どの事業所で造るかは公表されていない。従業員は本社920人・穂坂1,043人・東北849人 (2026年3月末) | tel.co.jp |
⚙️ 技術・仕組み
どう動くか。方式・構造・制御・材料を、会社の技術資料と特許・論文で確かめた範囲で書いた。
主要諸元
🔩 各部品と部品メーカー
部品は諸元表と発表で存在を確かめたものを並べ、メーカーは会社か部品メーカーの発表、有価証券報告書、分解調査の報道で供給元を確かめられたときだけ社名を書いた。確かめられない部品は「公表されていない」。載っていない会社は「関与していない」ではなく「公表資料で確かめられていない」。確度 A は会社の一次資料、B は報道。
| 部品 | 品名・型式 | メーカー | 銘柄 | 国・製造拠点 | 根拠 |
|---|---|---|---|---|---|
| ガス供給系・プロセスチャンバー・搬送ロボット | 公表されていない | 公表されていない | — | 有価証券報告書・製品ページに供給元の記載はない A |
🔗 部品製造サプライチェーン
材料から部品・組み立て・販売までを、上流から下流の順に並べた。
- 1部品調達供給元は公表されていない。東京エレクトロンは有価証券報告書でサプライヤーの安定供給を生産の前提に挙げる企業: 公表されていない
- 2組立・販売東京エレクトロン テクノロジーソリューションズが製造し、東京エレクトロン本体が仕入れて販売企業: 東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ
- 3据え付け・保守国内は東京エレクトロンFE、海外は各国の販売・サービス子会社企業: 東京エレクトロンFE ほか
🏗️ 製造ライン
工場の中でこの製品がどう作られるか。工程の順に、ラインの構成・設備・自動化・検査・生産能力を、会社の発表と工場見学の記録で確かめた範囲で書いた。
- 1開発・評価山梨 (韮崎市) にプロセス評価用設備163億円 (2024年11月〜2026年10月) と機械装置449億円 (2026年4月〜2028年8月) を投資する計画 (有報)設備・企業: 東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ
- 2組立組立の事業所と工程は公表されていない設備・企業: 東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ
💴 販売価格
| 型番・グレード | 税込価格 (円) | 時点 | 出所 |
|---|---|---|---|
| Certas LEAGA | 公表していない。見積もり | 2026-11-01 | tel.co.jp |
🛒 購入方法
| 経路 | 内容 | 出所 |
|---|---|---|
| 直販 | 製品ページの「お問い合わせ」から見積もり。新品のみ (比較表の Availability は New) | tel.co.jp |
🛠️ アフターサービス・保守サービス
🌏 海外輸出
📈 販売の実績
| 期間 | 指標 | 値 | 単位 | 備考 | 出所 |
|---|---|---|---|---|---|
| 2026年3月期 | 製品別売上 | 公表されていない | 新規装置の製品別構成比はエッチング装置36%としてプラズマエッチングと合算 | tel.com |
💰 金額
| 項目 | 値 | 備考 | 出所 |
|---|---|---|---|
| 山梨事業所ほかの開発・評価用機械装置 (計画) | 178億円 (2026年4月〜2028年9月、提出会社) | tel.co.jp |
解析 — 部品・製造・販売の特徴
ガスケミカルエッチングは、プラズマで削れない場所を化学反応で全方向に (等方的に) 除く補完的な装置である。ロジック2ナノメートルのゲート全周 (GAA) 構造では等方性エッチングの工程が増え、東京エレクトロンは事業機会が広がると説明する。統合報告書2026は主要製品の上位シェアの1つにガスケミカルエッチングを挙げるが、数字は会社推定で公表していない。売上はエッチング装置に合算され、東京エレクトロンは単独の規模を開示していない。水を使わないため、洗浄装置と組み合わせて乾式で工程を完結させる提案ができる。製造は山梨・岩手の東京エレクトロン テクノロジーソリューションズが受け持ち、東京エレクトロンは事業所の分担を公表していない。東京エレクトロンは2025年6月にベルギーの研究機関imecとの提携を延長し、2ナノメートル世代以降の工程を開発する。
公表されていないこと
- 販売台数・価格・単独の売上
- 製造する事業所 (韮崎か奥州か)
- 主要部品の供給元
- 世界シェアの数字
出所
- エッチング Certas シリーズ 製品ページ (2026-11-01)
- 第63期 有価証券報告書 (2026-06-22)
- Integrated Report 2026 (2026-09-15)
- Integrated Report 2026 Data Section (2026-09-15)
- 2026年3月期 決算説明会 書き起こし (2026-04-30)
- グループ会社 (2026-11-01)
- エンジニアリングサービス (2026-11-01)
- スペアパーツ・リペア (2026-11-01)
出所との照合日: 2026年11月1日。数字は出所の書類のまま。株価・時価総額は扱わない。
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