東京エレクトロンAcrevia・UltraTrimmer Plus（ガスクラスタービーム装置） Acrevia / UltraTrimmer Plus (Gas Cluster Beam Systems)
ガスを断熱膨張で数千個の原子の塊 (クラスター) にして加速し、ウエハー表面を場所ごとに削ったり改質したりする装置。UltraTrimmer Plus は100〜200mmウエハー向け。高周波 (RF) フィルターの周波数調整や微小電気機械システム (MEMS) の膜厚平滑化に使う。対象のフィルターは弾性表面波 (SAW) やバルク弾性波 (BAW・FBAR) 方式。膜厚ばらつきは1σで1nm未満。Acrevia は300mm向けで、ウエハー内のエッチング量を個別に補正する。極端紫外線 (EUV) 露光の工程削減や線の縁の粗さ (LER) の改善に使う。米国の製造子会社 (ミネソタ州チャスカ) が開発・製造・販売する。価格は公表していない。
詳細解説
- 製品の区分
- ガスクラスタービーム (GCB) を使う修正エッチング・トリミング装置。UltraTrimmer Plus (100/150/200mm) とAcrevia (300mm) tel.co.jp
- UltraTrimmer Plus
- ウエハー面内・ウエハー間の膜厚や材料特性のばらつきを、独自のLSP (場所別処理) ソフトと高精度XYスキャンで補正する。SAW・BAW・FBAR の周波数トリミング、微小電気機械システム (MEMS) や水晶振動子などのタイミング素子の膜厚平滑化、酸化・窒化による表面改質に使う。ハードを変えずにウエハーサイズを切り替えられる tel.co.jp
- Acrevia
- ガスクラスタービーム (GCB)と傾斜機能付きウエハースキャンを組み合わせ、同一ウエハー内で柔軟に補正エッチングする300mm装置。複数の極端紫外線 (EUV)工程が必要だった処理を置き換えて工程を減らし、線の縁の粗さ (LER) を改善してリソグラフィ欠陥を減らす tel.co.jp
- 位置づけ
- 統合報告書2026は先端ロジック向けに「極端紫外線 (EUV)適用回数を最適化する異方性エッチング」を事業戦略に挙げる。製品ページはトリミング機能を業界で最も高い水準と説明する (会社主張) tel.com
🏭 製造工場
この製品を作る工場と、それぞれの役割。会社の発表・有価証券報告書・官公庁の資料で確かめた拠点だけを載せた。
| 工場 | 所在地 | 役割 | 備考 | 出所 |
|---|---|---|---|---|
| 米国の製造子会社 (ミネソタ州チャスカ) | 米ミネソタ州チャスカ (本社) とチェルムズフォード事業所 (統合報告書2026) | ガスクラスタービーム技術を用いた半導体製造装置と産業用製造装置、表面処理装置の開発・製造・販売 (グループ会社一覧)。東京エレクトロンは有価証券報告書で工場と記載、従業員266人・帳簿価額82億円 (2026年3月末)。機種ごとの製造地は公表されていない | tel.co.jp |
⚙️ 技術・仕組み
どう動くか。方式・構造・制御・材料を、会社の技術資料と特許・論文で確かめた範囲で書いた。
主要諸元
🔩 各部品と部品メーカー
部品は諸元表と発表で存在を確かめたものを並べ、メーカーは会社か部品メーカーの発表、有価証券報告書、分解調査の報道で供給元を確かめられたときだけ社名を書いた。確かめられない部品は「公表されていない」。載っていない会社は「関与していない」ではなく「公表資料で確かめられていない」。確度 A は会社の一次資料、B は報道。
| 部品 | 品名・型式 | メーカー | 銘柄 | 国・製造拠点 | 根拠 |
|---|---|---|---|---|---|
| クラスター源 (ノズル)・イオン化/加速部・XYスキャンステージ・真空ポンプ | 公表されていない | 公表されていない | — | 有価証券報告書・製品ページに供給元の記載はない A |
🔗 部品製造サプライチェーン
材料から部品・組み立て・販売までを、上流から下流の順に並べた。
- 1部品調達供給元は公表されていない企業: 公表されていない
- 2製造・販売米国の製造子会社 (ミネソタ州チャスカ) が製品の製造と販売を行う (有報「事業の内容」)企業: 米国の製造子会社 (ミネソタ州チャスカ)
- 3据え付け・保守米国は米国の販売・保守子会社 (テキサス州)、他地域は各国の販売・サービス子会社企業: 米国の販売・保守子会社ほか
🏗️ 製造ライン
工場の中でこの製品がどう作られるか。工程の順に、ラインの構成・設備・自動化・検査・生産能力を、会社の発表と工場見学の記録で確かめた範囲で書いた。
- 1製造ラインチャスカの工場で製造する (東京エレクトロンは有価証券報告書で工場と記載)。工程と台数は公表されていない設備・企業: 米国の製造子会社 (ミネソタ州チャスカ)
💴 販売価格
| 型番・グレード | 税込価格 (円) | 時点 | 出所 |
|---|---|---|---|
| UltraTrimmer Plus・Acrevia | 公表していない。見積もり | 2026-11-01 | tel.co.jp |
🛒 購入方法
| 経路 | 内容 | 出所 |
|---|---|---|
| 直販 | 製品ページの「お問い合わせ」から見積もり | tel.co.jp |
🛠️ アフターサービス・保守サービス
🌏 海外輸出
📈 販売の実績
| 期間 | 指標 | 値 | 単位 | 備考 | 出所 |
|---|---|---|---|---|---|
| 2026年3月期 | 製品別売上 | 公表されていない | 東京エレクトロンは製品別の内訳を開示していない | tel.com |
💰 金額
| 項目 | 値 | 備考 | 出所 |
|---|---|---|---|
| 米国の製造子会社 (ミネソタ州チャスカ) の帳簿価額 | 82億円、従業員266人 (2026年3月末) | tel.co.jp |
解析 — 部品・製造・販売の特徴
ガスクラスタービームは量産装置の中では小さな製品群で、高周波フィルターやMEMSの周波数・膜厚調整という限られた用途に使われてきた。Acrevia で300mmの先端ロジックに広げ、EUV露光の回数を減らす補正エッチングとして位置づけ直した。統合報告書2026が挙げる「EUV適用回数の最適化」に沿う製品である。東京エレクトロンは売上と台数を開示しておらず、製品別構成比のどの区分に入るかも分からない。米国で製造する点は、日本に生産が集中する会社の中では例外にあたる。米国で製造する製品は米国の輸出管理規則の適用を受けるが、東京エレクトロンは製品ごとの扱いを公表していない。東京エレクトロンは採用顧客も公表していない。この子会社の従業員は266人、帳簿価額は82億円 (2026年3月末) である。
公表されていないこと
- 販売台数・価格・売上
- Acrevia の採用顧客
- クラスター源など主要部品の供給元
- チャスカ本社とチェルムズフォード事業所の役割分担
出所
- ガスクラスタービーム UltraTrimmer Plus/Acrevia 製品ページ (2026-11-01)
- 第63期 有価証券報告書 (2026-06-22)
- Integrated Report 2026 (2026-09-15)
- Integrated Report 2026 Data Section (2026-09-15)
- グループ会社 (2026-11-01)
- エンジニアリングサービス (2026-11-01)
- スペアパーツ・リペア (2026-11-01)
出所との照合日: 2026年11月1日。数字は出所の書類のまま。株価・時価総額は扱わない。
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