📦 製品の詳細 製造装置

東京エレクトロンPrexa・Precio（ウエハープローバ） Prexa / Prexa MS / Prexa SDP / Precio XL / Precio octo / Cellcia / WDF 12DP+ (Wafer Probers)

ウエハー上のチップに探針を当てて電気特性を測るテスト工程の装置。最新のPrexa は300mm対応で平面方向 (XY) の位置決め精度は±1.5〜1.8µm。メモリー向けのPrexa MS は最大1,000kgの荷重で、全チップに一度に探針を当てる一括コンタクトを行う。切り出した後のチップ (個片化デバイス) を測るPrexa SDP を2026年4月に発売した。東京エレクトロン テクノロジーソリューションズが開発・製造する。東京エレクトロンは先端ロジック向けで「圧倒的シェア」を持つと説明する (会社発表)。2027年3月期の売上は1,000億円を大きく超え、出荷台数は前年比約60%増える見込みだ (会社予想)。価格は公表していない。

🏢 東京エレクトロン の企業ページ

詳細解説

製品の区分
全自動ウエハープローバ (Prexa・Prexa MS・Precio XL・Precio octo)、個片化デバイスプローバ (Prexa SDP)、ウエハー一括テストシステム (Cellcia)、ダイシングフレームプローバ (WDF 12DP+)、プローバネットワーク (PN-300・N-PAF) tel.co.jp
Prexa
新プラットフォームの300mm対応プローバ。最新の光学系と新アルゴリズムで作業者の介入 (エラーアシスト)を減らし、セットアップを自動化。探針の針先とプローブマークの高速検査を持つ。先端パッケージの良品保証済みチップ (KGD) のテストに向ける tel.co.jp
Prexa MS
先端DRAMなどメモリー向け。オプションで最大1,000kgの荷重に対応し、高発熱デバイスの吸熱制御でウエハー全面の全チップに一度に探針を当てる一括コンタクトを行う tel.co.jp
Prexa SDP
切り出した後のチップ (個片化デバイス、2×2〜100×100mm) をウエハープローバ並みの精度で測る装置。高発熱デバイス向けの温度制御を持ち、2026年4月に先端ロジック向けに発売。東京エレクトロンはデバイスプローバをプローバ市場の約10〜15%に当たる新領域と位置づける tel.co.jp
Cellcia・WDF
Cellcia は12または25の独立セルを多段に積み、メモリーのウエハー一括テストとウエハーレベルのバーンイン (高温で通電し初期不良を取り除く試験)を行う。WDF 12DP+ はウエハーと300mmダイシングフレームをチェンジキットなしで搬送し、ダイシング後の良品保証 (KGD) テストを行う tel.co.jp
事業上の位置
ウエハープローバは2026年3月期の新規装置売上の5%。東京エレクトロンは先端ロジック向けで「圧倒的シェア」「専有」と説明し (会社発表)、2027年3月期の売上は1,000億円を大きく超える見通し、装置出荷台数は前年比約60%増の見込み (2026年10月30日) tel.co.jp
シリコンフォトニクス
光と電気の統合テストをウエハーレベルで行う技術で量産採用認定 (POR)を獲得し、量産拡大 (2026年10月30日) tel.co.jp
市場データ
2026年4月の決算説明会は、カナダの調査会社テックインサイツ (TechInsights) の2026年4月のデータを基に会社が作成したウエハープローバのシェア図を示す。東京エレクトロンはシェアの数字を説明していない tel.co.jp

🏭 製造工場

この製品を作る工場と、それぞれの役割。会社の発表・有価証券報告書・官公庁の資料で確かめた拠点だけを載せた。

工場所在地役割備考出所
東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ山梨県韮崎市 (本社・穂坂事業所)、岩手県奥州市 (東北事業所)グループ会社一覧は「テストシステムの開発・製造」を受け持つとする。どの事業所で造るかは公表されていないtel.co.jp

⚙️ 技術・仕組み

どう動くか。方式・構造・制御・材料を、会社の技術資料と特許・論文で確かめた範囲で書いた。

仕組み
ウエハーをチャックに吸着し、XYステージで移動してプローブカードの探針をチップの電極に当て、テスターで電気特性を測る。XY精度に加え、ソフトコンタクトのためのZ軸制御、テスト中の温度制御を行う tel.co.jp
ステージ
Prexa・Precio XL はリニアモーターステージ、旧機種はボールねじ。Cellcia は真空コンタクト方式 tel.co.jp
針痕検査・自動調整
高速針痕検査 TELPADS-I、プローブカードの平行度自動調整 Auto Leveling、最適コンタクト順序を算出するソフト CoSMOz (Precio XL) tel.co.jp
吸熱・温度制御
高発熱デバイスのテストで熱を吸収し温度を保つ制御。Prexa SDP は吸熱性能を高めた新モデルの評価が進む (2026年7月30日) tel.co.jp
ネットワーク
PN-300 はデータベースでプローバのデータを管理し、N-PAF はTCP/IPで遠隔操作と稼働管理 (SEMI E10準拠) を行う tel.co.jp

主要諸元

項目値出所
対応ウエハーPrexa・Prexa MS 300mm (200mmはオプション)、Prexa SDP 2×2〜100×100mmの個片、Precio XL 200/300mm、Precio octo 150/200mm、Cellcia 300mm、WDF 12DP+ 200/300mm・300mmダイシングフレームtel.co.jp
XY位置決め精度Prexa ±1.5 (オプション)/±1.8µm、Prexa MS ±0.8µm、Prexa SDP ±1.5µm、Precio XL ±1.8µm、Cellcia ±5.0µmtel.co.jp
プロービング荷重Prexa 300/450kg、Prexa MS 600/1,000kg、Prexa SDP 500kg、Precio XL 200/300kg、Cellcia 200kgtel.co.jp
セル数 (Cellcia)12または25tel.co.jp

🔩 各部品と部品メーカー

部品は諸元表と発表で存在を確かめたものを並べ、メーカーは会社か部品メーカーの発表、有価証券報告書、分解調査の報道で供給元を確かめられたときだけ社名を書いた。確かめられない部品は「公表されていない」。載っていない会社は「関与していない」ではなく「公表資料で確かめられていない」。確度 A は会社の一次資料、B は報道。

部品品名・型式メーカー銘柄国・製造拠点根拠
リニアモーターステージ・光学系 (製品名ASU/BCU)・チャック・温度制御ユニット・制御装置 (PC/PLC) 公表されていない 公表されていない — 有価証券報告書・製品ページに供給元の記載はない。製品ページは制御系を Windows+PLC と記すが機種名はない A
プローブカード (消耗材料、装置には含まれない) 公表されていない 公表されていない — プローブカードは顧客がプローブカードメーカーから別に調達する。製品ページに供給元の記載はない A

🔗 部品製造サプライチェーン

材料から部品・組み立て・販売までを、上流から下流の順に並べた。

  1. 1部品調達
    供給元は公表されていない
    企業: 公表されていない
  2. 2組立・販売
    東京エレクトロン テクノロジーソリューションズが製造し、東京エレクトロン本体が仕入れて販売
    企業: 東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ
  3. 3テスター・プローブカードとの組み合わせ
    プローバはテスターとプローブカードと組み合わせて使う。組み合わせ先のメーカーは公表されていない
    企業: 公表されていない
  4. 4据え付け・保守
    国内は東京エレクトロンFE、海外は各国の販売・サービス子会社
    企業: 東京エレクトロンFE ほか

🏗️ 製造ライン

工場の中でこの製品がどう作られるか。工程の順に、ラインの構成・設備・自動化・検査・生産能力を、会社の発表と工場見学の記録で確かめた範囲で書いた。

  1. 1組立
    東京エレクトロン テクノロジーソリューションズの事業所で組み立てる。事業所と工程の詳細は公表されていない
    設備・企業: 東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ
  2. 2出荷台数
    2027年3月期の装置出荷台数は前年比約60%増の見込み。東京エレクトロンは「さらなる増産に努める」とする (2026年10月30日)。台数の絶対値は公表されていない
    設備・企業: 東京エレクトロン

💴 販売価格

型番・グレード税込価格 (円)時点出所
Prexa・Precio・Cellcia・WDF 全機種公表していない。見積もり2026-11-01tel.co.jp

🛒 購入方法

経路内容出所
直販製品ページの「お問い合わせ」から見積もりtel.co.jp
認定中古装置Precio XL・Precio octo・WDF は新品と認定中古、P-12XL・P-8 系の旧機種は認定中古装置として扱うtel.co.jp

🛠️ アフターサービス・保守サービス

項目内容出所
保守契約TEL SERVICE ADVANTAGE (技術者の常駐、対応時間の事前確保 (Bank of Hours)、定期保守、電話サポート)。保証の年限は公表されていないtel.co.jp
遠隔操作・稼働管理N-PAF でプローバの遠隔操作とソフト配布、E10準拠の稼働分析。TELeMetrics での遠隔分析tel.co.jp
パーツ・改造純正パーツとアップグレードキット。WDF 12DP+ は200mmウエハー対応への改造キット (8インチコンバージョンキット)をオプションで提供tel.co.jp

🌏 海外輸出

仕向け地内容出所
台湾・韓国・北米など製品別の仕向け地は公表されていない。会社全体の海外売上高比率は90.2% (2026年3月期)tel.co.jp
輸出管理東京エレクトロンは有価証券報告書で輸出入規制の順守を事業上の制約として挙げる。製品ごとに規制の対象かどうかは公表されていないtel.co.jp

📈 販売の実績

期間指標値単位備考出所
2026年3月期新規装置売上に占めるウエハープローバの比率5%新規装置売上1兆7,754億円が母数tel.com
2027年3月期プローバ売上 (会社見通し)1,000超億円「大きく超える」(2026年7月30日)tel.co.jp
2027年3月期装置出荷台数の前年比 (会社見込み)+約60%2026年10月30日発表tel.co.jp

💰 金額

項目値備考出所
デバイスプローバの対象市場 (会社説明)プローバ市場の約10〜15%tel.co.jp

解析 — 部品・製造・販売の特徴

プローバは新規装置売上の5%と小さいが、AI向けの画像処理半導体 (GPU) や広帯域メモリー (HBM) でテスト工数が増えている。2027年3月期は売上1,000億円超・出荷台数約60%増と、会社の製品群で最も伸び率が高い。東京エレクトロンは先端ロジック向けで「圧倒的シェア」を持つと説明する (会社発表)。切り出した後のチップを測るPrexa SDP で後工程テストに領域を広げ、シリコンフォトニクスの光・電気統合テストでも採用が決まった。東京エレクトロンはデバイスプローバをプローバ市場の約10〜15%にあたる新領域と位置づける (会社説明)。製造は山梨・岩手の東京エレクトロン テクノロジーソリューションズが受け持ち、東京エレクトロンは事業所と台数を公表していない。東京エレクトロンは「さらなる増産に努める」と述べた。東京エレクトロンはウエハープローバ全体のシェアの数字を公表していない。2027年3月期の装置出荷台数は前年比約60%増の見込みで、東京エレクトロンは吸熱性能を高めた新モデルの評価を進めている。

公表されていないこと

  • 機種別の販売台数・価格
  • ウエハープローバの世界シェアの数字 (東京エレクトロンは公表していない)
  • 製造する事業所
  • リニアモーターステージ・光学系など主要部品の供給元

出所

  1. テスト Prexa シリーズ 製品ページ (2026-11-01)
  2. テスト Precio シリーズ 製品ページ (2026-11-01)
  3. テスト Cellcia シリーズ 製品ページ (2026-11-01)
  4. テスト WDF シリーズ 製品ページ (2026-11-01)
  5. 製品一覧 (2026-11-01)
  6. 第63期 有価証券報告書 (2026-06-22)
  7. 2026年3月期 決算説明会 書き起こし (2026-04-30)
  8. 2027年3月期 第1四半期 決算説明会 書き起こし (2026-07-30)
  9. 2027年3月期 第2四半期 決算説明会 書き起こし (2026-10-30)
  10. Integrated Report 2026 Data Section (2026-09-15)
  11. グループ会社 (2026-11-01)
  12. エンジニアリングサービス (2026-11-01)

出所との照合日: 2026年11月1日。数字は出所の書類のまま。株価・時価総額は扱わない。

東京エレクトロン のほかの製品

東京エレクトロン フィールドソリューション（保守・パーツ・改造・中古装置） 東京エレクトロンAcrevia・UltraTrimmer Plus（ガスクラスタービーム装置） 東京エレクトロンBetelex・Impressio（フラットパネルディスプレイ (FPD)製造装置） 東京エレクトロンCELLESTA・EXPEDIUS・NS（洗浄装置） 東京エレクトロンCertas LEAGA（ガスケミカルエッチング装置） 東京エレクトロンCLEAN TRACK LITHIUS（塗布現像装置） 東京エレクトロンEpisode UL・Tactras（プラズマエッチング装置） 東京エレクトロンLEXIA-EX・EXIM（物理気相成長 (PVD)装置） 東京エレクトロンSynapse・Ulucus（ウエハー接合・剥離装置） 東京エレクトロンTELINDY PLUS・EVAROS・NT333（熱処理・原子層堆積 (ALD)装置） 東京エレクトロンTriase+・Episode（枚葉成膜装置）

🧰 ツール・特集の入口

一次データで動く 14 本 — 銘柄の絞り込み・供給網・比較・一次データの台帳・解説・規制レンズ (すべて無料)

銘柄スキャナー 日本株 563 社を有報の連結実数・空売り残高・逆日歩・信用残・自社株買い・大株主の増減で絞り込む (無料・登録不要) 型: 成長株に空売りが厚い ほか 6 種開く → 注目IPO一覧 直近の新規上場を上場日順に。どんな会社か一言・主な事業・注目テーマ・公開価格・初値と騰落率・吸収金額・売上の推移を目論見書と JPX 新規上場会社情報から確かめて 1 社 1 行で 公開価格・初値・売上の推移開く → サプライチェーン3Dマップ 日本株と、エヌビディア・インテルなど米国の半導体・AI 企業、SMIC・BYD など中国企業のつながりを 3D ネットワークで俯瞰。銘柄をクリックして供給網をたどる 日本株×世界の供給網開く → AI企業 比較ツール オープンAI・アンソロピック・グーグル等の主要 AI 企業を、開示の実数と主力モデルで横並び比較 横並び比較開く → 半導体企業 比較ツール エヌビディア・TSMC・ASML から東京エレクトロン・ディスコまで、工程・製品・日本企業との取引で横並び比較 横並び比較開く → 系統用蓄電所ランキング 上場48社 送電網に直結した系統用蓄電所のうち、稼働中の設備に一次ソースで名前が出る上場企業 48 社を蓄電容量の企業別合算で順位付け 一次ソースの台帳 (2026-09-12 時点)開く → 世界のデータセンター一覧 世界 169 か国 5,875 拠点のデータセンターを日本語で一覧化。運営事業者・所在都市・接続ネットワーク数・回線事業者数から設置先を比較 施設データベース開く → AI計算資源・大規模モデル 体系解説 トークン化・注意機構・自己回帰・MoE の仕組みから、FLOPS・トークン原価・GPU クラウドの収支・冷却まで、設計理由を投資家視点で 体系解説開く → 蓄電事業 体系解説 系統用蓄電池の基礎、設備と系統接続、3つの市場と長期オークションの収支、日本と米国・G7の市場、投資前の確認表。収支シミュレーター付き 体系解説開く → 蓄電池の補助金一覧 産業用蓄電池と系統用蓄電池の国の補助金を、補助率・上限・公募期間・要件で比較。受付中の事業と補助額の概算 補助金開く → Postation AIアカデミー IPA の DX 推進スキル標準 6 類型 17 ロールを、理論・アルゴリズム・メカニズムの 3 視点で書き下ろした教科書 教科書開く → 半導体 用語辞典 半導体の技術用語を「とは」から引く索引。1 行定義と、基礎・高級・投資者視点の 3 段深度で 1 語 1 ページ 「とは」から引く開く → イラン制裁×中国製油所×日本株 イラン産原油禁輸の復活、中国独立系製油所 5 社への OFAC 制裁、ホルムズ海峡の戦争保険料を、規制タイムラインと日本株マップで 対中規制レンズ開く → 中国の対日輸出規制リスト×影響銘柄 中国商務部が 2026 年 2 月・6 月に指定した対日輸出規制の管理リスト 40 団体・注視リスト 40 団体と、リスト入りした日本企業・影響銘柄 対中規制レンズ開く →

📰 最新の検証記事

ニュース一覧 →

🏭 企業データベース 1,336社

🔬 半導体 481 🤖 AI 350 🔋 エネルギー貯蔵 153 🚗 EV・自動運転 114 🛰️ 軍事装備 120 🏢 不動産 56 💹 証券 62

主力製品・技術・米制裁該当・日本企業との取引を一次情報で整理。

日本で買えるEV データベース (国産・輸入) CEV補助金・実質価格・スペックを横断比較 — 購入検討はここから 今すぐ見る →